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当今的模拟和功率半导体技术（包括 GaN 和 SiC）要求进行参数测试，以便最大限度提高测量性能、支持广泛的产品组合以及最大限度降低测试成本。40 多年来，吉时利已经在关键应用中解决了这些问题以及其他重要挑战，这些应用包括工艺整合、工艺控制监控、生产芯片分类（例如，晶片验收或已知的良好芯片测试），以及可靠性。

S540 参数测试系统是一个全自动化的 48 引脚参数测试系统，适用于高达 3kV 的功率半导体器件和结构的晶片级测试。完全集成式 S540 已针对包括碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN) 在内的最新复合功率半导体材料进行优化，可以在单次测试触摸中执行所有高电压、低电压和电容测试。

S540 功能

• 在单次探头触摸中自动在多达 48 个引脚上执行所有晶片级参数测试，包括高电压击穿、电容和低电压测量，而无需更改电缆或探头卡基础设施
• 在最高达 3kV 的条件下执行晶体管电容测量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而无需手动配置测试引脚
• 在高速、多引脚、全自动测试环境中实现低电平测量性能
• 基于 Linux 的 Keithley 测试环境 (KTE) 系统软件支持轻松进行测试开发和快速执行
• 非常适合于过程集成、过程控制监控和生产芯片分类中的全自动或半自动应用
• 通过最大程度减少测试时间、测试设置时间和占地面积，降低拥有成本，同时实现实验室级测量性能