4200A-SCS是一款模块化、完全集成的参数分析仪，具有晶圆级可靠性测试功能。

该系统允许对半导体器件和测试结构进行直流I-V，脉冲I-V和C-V表征，先进的数字扫描参数分析仪结合了亚微米的测试速度和精度。4200A-SCS可以提供多达9个插槽，用于支持源测量单元 (SMU)，电容电压单元 (CVU) 和脉冲测量单元 (PMU)， 可以通过GPIB、以太网或RS-232连接来控制其他外部仪器，如开关矩阵、LCR仪表和探针台。该软件包括一个测试序列管理器、交互式测试设置界面、类似excel的数据表格、绘图功能。在交互式手动模式（用于开发期间的单个测试操作）或更自动化的生产用例中，它使用起来更灵活。

赛仪欧电子4200A-SCS具备以下特点：

• 在不影响准确性和外推寿命的情况下，硬件和软件能加速测试。

• 控制半自动或自动探针台和温控托盘。

• 控制仪器、探头、托盘，创建测试、执行测试、管理数据。

• 可更改应力序列，以应对新材料测试和失效机制。

• 分析软件，提供易于提取的测试参数和绘图工具。

4200A-SCS系统提供的标配软件Clarius包括一组用于WLR测试的项目。这些项目包括一个具有可配置的测试级和项目级的应力测量循环，以及一个用于在晶圆上每个site上进行测试的循环项目。图3显示了HCI范例项目。该图显示了某一个特定的参数随时间推移而被测试，每个点代表一个应力周期后不同的测量。左边的窗口是测试序列，显示了测试的顺序和项目的整体结构。在Clarius项目库中中有几个用于WLR测试的项目，包括 :

■ 热载流子注入（HCI）

■ 负温度偏置不稳定性（NBTI）

■ 电迁移了（EM）

■ 电荷击穿（QBD）

不断变化的测试要求工程师找到高效合适的设备和适合工艺开发的仪器。所选择的工具应该采集应力引起的参数退化的所有相关数据，并且能灵活适应非传统的WLR测试，例如应力C-V、NBTI等等。

这个工具还应该是可扩展的，这样就不需要每次出现新的测试问题都去购买一个全新的系统。这个工具应该易于理解，这样工程师就可以把宝贵的时间集中在分析数据上，而不是学习使用测试系统。

WLR应力测量测试趋势

HCI

NBTI/PBTI

NBTI–HCI

TDDB–NBTI

电荷捕获

脉冲/DC应力

综合表征 (I-V, C-V, CP)

不断发展的设计尺度和新材料使得可靠性测试比以往任何时候都更加重要，4200A-SCS参数分析仪和工具包提供了快速测试所需的硬件和软件以及完整的器件特性和可靠性测试。

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